(4-叔丁基苯基)碘化铋三氟甲烷磺酸盐(Bis(4-tert-butylphenyl)iodonium trifluoromethanesulfonate)是一种先进的光酸生成剂(PAG),主要用于半导体和微电子领域,特别是在深紫外(DUV)光刻工艺中。该化合物结构中的碘化铋阳离子和三氟甲烷磺酸盐阴离子能够在光照下产生强酸,有效促进光刻胶的显影反应,达到高分辨率和优异的图形保真度。该光酸生成剂在电子级光刻胶和高精度微纳米制造中的应用广泛,能满足对高光敏性和优异化学稳定性的苛刻要求。
易溶于有机溶剂,如乙腈、丙酮、甲苯等,适合与光刻胶溶剂系统相容。溶解度低于水,因此在水基系统中的应用受到限制。
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